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什么是数值孔径?

什么是数值孔径?

的有关信息介绍如下:

什么是数值孔径?

是光刻激光可刻蚀出来的图形最小距离. 小于这个距离,就不能清晰的得到你想要的图像. 其与光源波长及综合因子k1(基本是常数)正比,与镜头数值孔径的平方成反比.